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日本特許機(jī)器tokkyokiki臺(tái)式隔振臺(tái)EHS/DHS/DAS/SRD/SVD 包括半導(dǎo)體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領(lǐng)域的制造、檢測(cè)和測(cè)量，正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動(dòng)辦公桌，準(zhǔn)確捕捉這些時(shí)代的需求，并為超微振動(dòng)提供隔離空間。
日本特許機(jī)器tokkyokiki臺(tái)式主動(dòng)隔振臺(tái)TA 一種不需要空氣的小型主動(dòng)隔振器。從低頻到高頻都具有優(yōu)良的隔振性能。
日本plexmotion無(wú)刷電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器套件CBA-30系列 套件中包含30W DC無(wú)刷電機(jī)和小型多功能電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。支持90至3,000 r / min的廣泛速度控制范圍。另外，穩(wěn)定的速度控制是可能的，使其非常適合于傳送帶的恒速驅(qū)動(dòng)操作。
日本plexmotion內(nèi)置控制器的步進(jìn)電機(jī)SSA-TR類(lèi)型 電機(jī)中集成了可存儲(chǔ)多達(dá)8種操作模式的控制器功能和微步驅(qū)動(dòng)器。由于控制器是集成的，因此可以z大限度地減少由于噪聲引起的故障，從而構(gòu)建高度可靠的系統(tǒng)。
日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-S直線(xiàn)電機(jī) 由于它是由線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)控制的，因此消耗的空氣更少。（相當(dāng)于被動(dòng)隔振表） 特別針對(duì)對(duì)振動(dòng)敏感的精密測(cè)量設(shè)備的振動(dòng)隔離措施以及針對(duì)低頻振動(dòng)較大的安裝環(huán)境進(jìn)行了優(yōu)化。 VAAV系列中z高的性?xún)r(jià)比。
