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產(chǎn)品型號(hào): SC-701HMCⅡ
所屬分類(lèi):涂布機(jī)
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-09
簡(jiǎn)要描述:日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備。使用磁控管陰極內(nèi)置微型計(jì)算機(jī)對(duì)成膜過(guò)程進(jìn)行高精度控制
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
特征
應(yīng)用/結(jié)果示例
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸磁控管陰極 |
快門(mén)機(jī)制 | 自動(dòng)/手動(dòng)操作 |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥(自動(dòng)/手動(dòng)控制) |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:100l / min(有自動(dòng)泄漏) |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ160mmx D160mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門(mén)開(kāi)合式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身體:20公斤 RP:23公斤 |