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產(chǎn)品型號(hào): SC-701MkⅡ
所屬分類:涂布機(jī)
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-09
簡(jiǎn)要描述:日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜標(biāo)配間歇濺射功能
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ
特征
應(yīng)用/結(jié)果示例
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
濺射靶 | 包含金靶 |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
間歇功能 | 標(biāo)配 |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動(dòng)泄漏) |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ90mmx D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開(kāi)合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:10公斤RP:9公斤 |