精品人妻久久AAA片,久久国产精品一区,少妇人妻无码永久免费视频,亚洲第一无码精品立川理惠

網(wǎng)站首頁技術中心 > 半導體制造車間對溫濕度的控制及露點設備推薦
產(chǎn)品中心

Product center

半導體制造車間對溫濕度的控制及露點設備推薦

發(fā)布時間:2023-10-21 點擊量:735

半導體制造車間對溫濕度的控制及露點設備推薦

在半導體制造中,水一直是影響較大的污染物之一,統(tǒng)計顯示,不符合工況要求的水分造成的損失占損失的 25%。為避免產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量出現(xiàn)問題,在半導體制造過程中必須尤為謹慎地監(jiān)測濕度和溫度水平。如濕度是硅晶圓生產(chǎn)過程中關鍵的因素,如果空氣太干燥,靜電就會成為問題。

半導體、微電路和微芯片制造需要在制造/加工區(qū)域保持非常精確的條件。用于半導體組裝或加工的元件通常具有吸濕性,因此極易受到高濕度條件的影響。

吸濕成分可以導致:


  • 電路點腐蝕

  • 半導體組裝的操作故障

  • 光刻膠附著力不當

  • 微芯片電路表面結(jié)露。


組裝領域:在半導體和集成電路的生產(chǎn)過程中,過多的水分會對鍵合過程產(chǎn)生不利影響并增加缺陷。稱為光致抗蝕劑的光敏聚合物化合物用于掩蓋蝕刻過程中的電路線。由于它們的吸濕性,它們會吸收水分,導致微觀電路線被切斷或橋接,從而導致電路故障。


晶圓制造區(qū)域:在晶圓制造過程中,旋轉(zhuǎn)器將顯影劑噴射到晶圓表面,使晶圓上的溶劑迅速蒸發(fā),從而冷卻晶圓表面。這導致空氣中的水蒸氣凝結(jié)在晶片表面上。晶圓上多余的水會導致顯影劑的特性發(fā)生變化??刮g劑還會吸收水分,導致聚合物膨脹。將相對濕度控制在 30% 可以消除將晶圓表面冷卻至晶圓表面周圍空氣露點以下的可能性,從而防止故障和損壞。

光刻室:光刻室的條件需要保持在 20% 至 35% RH 之間,溫度約為 700°F。過多的水分會導致二氧化硅吸收水分,導致光刻膠粘附不當,從而導致應力斷裂和表面缺陷。

真空抽氣速度更快:如果濕度較高,低溫泵等真空設備的運行會因水蒸氣負荷較大而減慢。如果 RH 水平能夠維持在 30-35% 左右,則可大大降低,從而提高批處理速度。。

image.png

TK-100 在線露點儀的傳感器,采用的是 靜電容量式原理。 

當水分子被夾在兩個導電層之間的多孔絕緣層 吸收時,上導電層與下導電層之間的電容將會 產(chǎn)生變化。 

該電容量通過傳感器內(nèi)部電路被線性的轉(zhuǎn)換為露點 的模擬信號。 吸濕水分的絕緣層厚度為 0.5 μm 以下,上層導電金屬層厚度為 0.1 μm 以下,即使少量 水分的吸附也可迅速反應。 

擁有如此薄度的同時,傳感器仍保持優(yōu)秀的強韌及耐久性。

■   靜電容式露點儀

■   測量范圍:-100~20℃dp

■   精度:±2℃dp

■   短交貨期

用途:手套箱中的露點管理、干燥機露點檢查、熱處理爐內(nèi)大氣管理、電池,半導體,潔凈室和干室露點管理、氣體純度管理、天然氣水分管理、半導體制造設備、有機EL制造。

采用先進的傳感器技術

TK-100 采用先進的陶瓷傳感器技術,在這基礎上通過TEKHNE多年積累的大量實測數(shù)據(jù)進行調(diào)試和打磨出來的產(chǎn)品。

圖片

應用:半導體、液晶、電池、電子行業(yè)


久久亚洲vs成人无码| 爱操av| 欧美 日韩 综合| 日美韩黄片| 黄色av网页免费| 欧美激情综合丁香五月| 情人色综合一| 成人国产精品| 国产乱子伦一区二区三区=| 成人精品喷水视频| 美女91网址| 女人扒开让男人免费桶| 男女无遮挡日穴视频| 美女少妇| 亚洲中文字幕无码AV在线| 亚洲天堂国产精品| 激情小说图片亚洲综合| 欧美日韩精品免费在线| 亚洲青青色| 一区二区三区中文| 四虎永久在线精品免费一区二区| 国产伊人精品| 性a天堂| 亚洲色播基地| 久久精品亚洲国产52| 日韩毛片永久在线| 无职转生第一季完整在线观看高清| 国产精品VA无码免费麻豆| 先锋资源国产| 亚洲内射少妇图| 日韩无毛AⅤ一区二区| 五月丁香之久久激情| 欧美性猛交xxxx| 一念关山电视剧全集免费观看| 99re这里只有国产中文精品国产精品 | 综合亚洲综合色图| 中文综合久久| 中文字幕av一区二区人妻| 亚洲午夜久久久国产精品| 色色五月网| 国内偷拍福利|