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磊晶處理后的滑線檢查技術
即時顯示所有表面狀態(tài)。
光學系統(tǒng)對應等級1。
光學系統(tǒng)無須維護。
根據檢測內容,可修正檢測靈敏度。
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檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換(標準設備) |
檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續(xù)調整 |
使用光源 | 550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源) |
鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
平臺 | 手動平臺(標準設備) |
鏡面晶圓的表面檢測 |
滑線檢測 |
玻璃基板檢測 |
其他鏡面基板檢測 |
電動馬達檢測平移臺 |
自動判定缺陷影像處理裝置 |
影像列印機 |