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用于半導(dǎo)體制造工藝的單組分密度計(jì)介紹
該型號(hào)在保留 FUD-1 Model-13 的可維護(hù)性和高精度在線測量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),配備了用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元發(fā)射器。
實(shí)時(shí)濃度測量成為可能,并且易于構(gòu)建濃度控制系統(tǒng)。
標(biāo)配模擬DC4-20mA和數(shù)字RS232C
標(biāo)配測量誤差輸出和報(bào)警輸出
標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示
緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上
由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設(shè)計(jì),對(duì)化學(xué)溶液沒有影響。
可進(jìn)行高精度連續(xù)測量
免維護(hù),無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)
安裝方便,安裝過程中無需進(jìn)行各種調(diào)整
通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過程
CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。
稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度控制(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)
清洗過程中清洗液濃度控制(HF、NH4OH、KOH、IPA等)
蝕刻過程中蝕刻液濃度控制(HF、H2SO4等)
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